SAWモード,基板構造,薄膜材料

研究内容の概略

弾性表面波(Surface Acoustic Wave: SAW)は,弾性体の自由表面に沿って伝搬する導波(Guided Wave)であり,代表的なものが1885年頃Rayleighによって理論的に証明されたレイリー波です.

古くから材料の非破壊評価などに応用されてきましたが,1965年に「すだれ状電極(Interdigital Transducer: IDT)」の発明によって圧電基板上で効率良く波の送受波が出来るようになり,フィルタ・遅延線・共振器・コンボルバなど様々な信号処理機能デバイスに応用されるようになりました.

IDT.wmf

小型,高信頼性,高安定性などの特徴を活かし,TV・VTR・BSチューナーのフィルタ,携帯電話・カーナビなどの移動体通信用のフィルタ,デュプレクサ,ETC用フィルタ,CATV用フィルタ,無線LANなどに実用化されており,私たちの高度情報化社会を支えています.

近年,特に移動体通信の需要増大に伴い,SAWデバイスの高性能化が要求されています.そこで,私たち垣尾・鈴木研究室では,

u  高周波化のため => 位相速度が速い

u  広帯域化のため => 圧電性が大きい

u  温度安定化のため => 温度特性が良い

SAWモード,基板構造,薄膜材料について研究を行っています.